Coatingvoortgang

Plaats het monstersysteem in de coatingkamer.

Bij het aanbrengen van PVD-coatings is een hoog vacuüm vereist. Het coatingsysteem van Huasheng werkt in twee stappen: eerst verlaagt de mechanische pomp de druk in de vacuümkamer van 1000 mbar naar 10⁻¹ mbar; vervolgens genereert de turbomoleculaire pomp een hoog vacuüm van ongeveer 1 x 10⁻⁶ bar.

Verwarm de kamer tot ongeveer 500℃, wat de gebruikelijke procestemperatuur is.

Het coatingsysteem van Huasheng maakt gebruik van drie verschillende etsprocestechnologieën: HUASHENG® (laterale gloeiontlading); argonplasma-etsen, gloeiontlading; metaalionenetsen (Ti+, Cr+).

De coating wordt aangebracht met behulp van PVD (boogionenplating, magnetron sputteren of geïntegreerde kathode HUASHENG®-technologie).

Koel de coatingkamer af.

Verwijder het monstersysteem uit de coatingkamer.