AC
HD500 - Gloednieuwe composiet-ionencoatingapparatuur uit de HD-serie
Unieke laterale etsing
√ Uitstekende uniformiteit bij laterale etsing
√ Uitstekende etseigenschappen en gemakkelijk onderhoud
Samengestelde HiPIMS-magnetronsputtering
√ Uitgerust met DC + HiPIMS MS-bronnen, garandeert het hoge afzettingssnelheden en voldoet het aan de energievereisten voor het afzetten van vuurvaste metalen zoals Nb, BC, W, V, enz., en is het in staat om vrijwel alle materialen af te zetten.
Plasma-geoptimaliseerde meerboogbron
√ Uitgerust met 3 groepen van 6 cirkelvormige meerboogdoelbronnen, is het verborgen boogontstekingsmechanisme betrouwbaar en gemakkelijk te onderhouden.
√ Het maakt het eenvoudig om dunne films met meerdere elementen en meerdere lagen af te zetten.
√ De geoptimaliseerde plasma-multiboogbron zorgt voor een gladder dunnefilmoppervlak.
√ De beoogde materiaalbenuttingsgraad is extreem hoog.
Meerdere platforms voor afzettingstechnologie
√ Realiseer meerdere dunnefilmdepositietechnologieën op hetzelfde platform, waaronder DC MS + HiPIMS MS + multi-arc ionenplating, en implementeer enkelvoudige, samengestelde en gemengde coatingmethoden in dezelfde batch.
| Naam | Parameter |
| Coatingtechnologie | Gloednieuwe composietcoatingtechnologie |
| Etsen | Laterale ionenbron (hete gloeidraad) |
| Meerboogbronnen (aantal) | 6 |
| Magnetronkathodes (aantal) | 1 |
| Afmetingen van de apparatuur (mm) | lengte3400*breedte1600*hoogte2600 |
| Kamerinhoud (m³) | 0,7 |
| Effectief coatingoppervlak (mm) | Ф410*400 |
| Maximale werktemperatuur (℃) | 700 |
| Draagvermogen (aantal bomen) | 5 |
| Bladbelasting (APMT1135) | 6000 stuks |
| Draagvermogen van de stangbladen (D4*50L) | 1800 stuks |
| Maximaal laadgewicht (KG) | 300 |
| Schachtdiameter | F130 |
| Verwerkingstijd | AlTiN: 6-8 uur |
